গ্রেটিং পিচ | ২০ মিনিট |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
তাপীয় প্রসারণ | ১০.৬ x ১০ -৬ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
রেজোলিউশন | ০.৫-১-৫μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | ±1 বৃদ্ধি | |||||||||||||||||||||||||||||||||
সর্বোচ্চ গতি মি/মিনিট | ৬০(৫μm); ২০ (১μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
আউটপুট টাইপ | টিটিএল / ইআইএ৪২২এ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
সর্বোচ্চ। ত্বরণ | ২০ মি/বর্গমিটার | |||||||||||||||||||||||||||||||||
সুরক্ষা | আইপি৫৪ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
বিদ্যুৎ সরবরাহ | সর্বোচ্চ ৬০ এমএ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
পর্যায় স্থানচ্যুতি | ৯০°±৫° বৈদ্যুতিক | |||||||||||||||||||||||||||||||||
অপারেটিং তাপমাত্রা | ০°-- ৫০° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
স্টোরেজ তাপমাত্রা | -২০°-- ৮০° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
আর্দ্রতা | ১০০% ঘনীভূত নয় |